總體設計如下:室、出口室、緩沖室、出口緩沖室、傳送室、出口傳送室、濺射鍍膜室。每個濺射鍍膜室多可以同時安裝四個陰極;高真空室采用插板閥隔離,通過改變氣氛隔離效果可以實現各種汽車反光鏡膜。
生產線特點:
(1) 設備類型:立式連續磁控濺射鍍膜線
(2) 膜層均勻性:在有效沉積區域內,膜層厚度均勻性≤ 5%
(3) 陰極結構設計:采用中頻孿生旋轉陰極,靶規格視產品而定
(4) 傳動模式:采用小車傳動方式。整條生產線的各段速度采用變頻調速電機驅動,運行速度可調節
(5) 鍍膜溫度控制:可按客戶要求采用不同加熱方式,控溫穩定度為
(6) 控制系統:采用組態軟件與PLC的結合模式,實現人機對話,對生產過程能進行必要的及時干預。運行過程中有報警提示和故障顯示。